MFC流量控制器由傳感器，接入器，主機(jī)，監(jiān)控設(shè)備，人機(jī)界面和節(jié)流閥(或者節(jié)流閥組)組成。傳感器收集流量等信息，通過(guò)接入器接入到主機(jī)，這個(gè)主機(jī)由可能是單片機(jī)，也可能是PC機(jī)，甚至可能是更高級(jí)的計(jì)算機(jī)。
MFC流量控制器是一個(gè)多孔板組合的聯(lián)動(dòng)裝置，是目前國(guó)產(chǎn)較為可靠的解決動(dòng)態(tài)水力平衡的元件。它由一個(gè)流量設(shè)定調(diào)節(jié)閥，即手動(dòng)的可調(diào)孔板(相當(dāng)于一個(gè)靜態(tài)平衡元件)和二個(gè)閥瓣及彈簧、膜片組成的動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)裝置。即自動(dòng)的可調(diào)孔板(相當(dāng)于一個(gè)動(dòng)態(tài)平衡元件)組成。
MFC流量控制器帶有結(jié)實(shí)本體，兩個(gè)連接法蘭，帶磁鐵和帶刻度的不同流程范圍的調(diào)節(jié)插板，密封條，帶電磁觸點(diǎn)的指針，電路系統(tǒng)連接器。液體或氣體從固定在直立方向的設(shè)備底部向上流動(dòng),從而推動(dòng)可變顯示部分的調(diào)節(jié)插板的位置，并且可以通過(guò)觀察管道上有可視刻度線的部分，紅色刻度表示流速在某一個(gè)值上。通過(guò)這種方式可以讀取循環(huán)中的瞬時(shí)流量。
浸入流體內(nèi)部的指示調(diào)節(jié)閥門，在沒(méi)有機(jī)械摩擦力的情況下可以自由移動(dòng)，在內(nèi)部所襯磁鐵產(chǎn)生的磁場(chǎng)作用下，電子報(bào)警觸點(diǎn)就會(huì)接觸。依靠開關(guān)上有基準(zhǔn)指示的可移動(dòng)指針，觸點(diǎn)的斷開與接觸由所檢測(cè)液體的流速來(lái)決定，并顯示在內(nèi)部標(biāo)簽上。
MFC流量控制器用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。
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